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半導體等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子去膠機通過對工(gong)藝氣體施加(jia)電場使(shi)電離(li)(li)化(hua)為等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子體。等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子體的(de)“活(huo)性(xing)”組分(fen)包(bao)括：離(li)(li)子、電子、原(yuan)子、自由活(huo)性(xing)基團、激發態的(de)核素(su)（亞(ya)穩態）、光子等(deng)(deng)(deng)。等(deng)(deng)(deng)離(li)(li)子處理就是(shi)通過利用(yong)這些活(huo)性(xing)組分(fen)的(de)性(xing)質(zhi)進行氧化(hua)、還原(yuan)、裂(lie)解、交聯和聚合等(deng)(deng)(deng)物理和化(hua)學(xue)反應改變樣品表(biao)面性(xing)質(zhi)，從而(er)優化(hua)材(cai)料(liao)表(biao)面性(xing)能，實現清(qing)潔、改性(xing)、刻蝕等(deng)(deng)(deng)目的(de)。

等(deng)(deng)離子(zi)(zi)除膠機通過(guo)對(dui)工藝氣(qi)體施加電(dian)場使電(dian)離化(hua)為等(deng)(deng)離子(zi)(zi)體。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)體的“活性(xing)(xing)”組分包(bao)括：離子(zi)(zi)、電(dian)子(zi)(zi)、原子(zi)(zi)、自由活性(xing)(xing)基(ji)團、激發態的核(he)素（亞穩(wen)態）、光子(zi)(zi)等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)處理就是通過(guo)利用這些活性(xing)(xing)組分的性(xing)(xing)質(zhi)進行氧化(hua)、還原、裂解、交(jiao)聯和聚合(he)等(deng)(deng)物理和化(hua)學反應改變樣(yang)品表面性(xing)(xing)質(zhi)，從而優化(hua)材料表面性(xing)(xing)能，實(shi)現清潔、改性(xing)(xing)、刻蝕等(deng)(deng)目(mu)的。

半導體(ti)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)去(qu)膠機(ji)通過(guo)對工藝氣體(ti)施加電場使(shi)電離化(hua)為(wei)等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)體(ti)。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)體(ti)的“活(huo)性(xing)(xing)(xing)”組分包括：離子(zi)(zi)(zi)、電子(zi)(zi)(zi)、原子(zi)(zi)(zi)、自由活(huo)性(xing)(xing)(xing)基團、激發態的核素（亞(ya)穩(wen)態）、光子(zi)(zi)(zi)等(deng)(deng)。等(deng)(deng)離子(zi)(zi)(zi)處理就(jiu)是通過(guo)利用這些活(huo)性(xing)(xing)(xing)組分的性(xing)(xing)(xing)質進行氧化(hua)、還原、裂解、交聯和聚(ju)合等(deng)(deng)物理和化(hua)學(xue)反(fan)應(ying)改變(bian)樣(yang)品表面性(xing)(xing)(xing)質，從而優化(hua)材(cai)料表面性(xing)(xing)(xing)能(neng)，實現清(qing)潔、改性(xing)(xing)(xing)、刻蝕(shi)等(deng)(deng)目的。

等離子(zi)(zi)除膠機(ji)通(tong)過(guo)(guo)對(dui)工藝氣體施加電場(chang)使電離化為等離子(zi)(zi)體。等離子(zi)(zi)體的(de)(de)“活性(xing)(xing)(xing)”組(zu)分包括：離子(zi)(zi)、電子(zi)(zi)、原(yuan)子(zi)(zi)、自由活性(xing)(xing)(xing)基團(tuan)、激發態的(de)(de)核素（亞穩態）、光(guang)子(zi)(zi)等。等離子(zi)(zi)處(chu)理就是通(tong)過(guo)(guo)利用這些活性(xing)(xing)(xing)組(zu)分的(de)(de)性(xing)(xing)(xing)質進行(xing)氧化、還原(yuan)、裂解、交聯(lian)和聚(ju)合等物理和化學反應改變樣(yang)品表(biao)面性(xing)(xing)(xing)質，從而優化材料表(biao)面性(xing)(xing)(xing)能，實現清潔(jie)、改性(xing)(xing)(xing)、刻蝕等目的(de)(de)。